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吸附法利用吸附劑的吸附功能使有機廢氣物質由氣相轉移至固相，適用于處理低濃度，高凈化要求的有機廢氣。凈化效率高，可處理多組分有機廢氣，吸附劑成本高，再生困難，需要處理的有機廢氣溫度和粉塵含量低。低溫等離子體等離子體內部產生富含極高化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發態分子等。廢氣中的污染物質與這些具有較高能量的活性基團發生反應，轉化為CO2和H2O等物質，從而達到凈化廢氣的目的。多組分有機廢氣，適用范圍廣，凈化效率高，特別適用于其他方法難以處理的多組分有機廢氣，設備占地面積小；電子能量高，幾乎能與所有有機廢氣分子發揮作用；運行成本低；反應快，停得很快，隨時可以使用。但對含水、含塵、有機廢氣易爆炸，一次性投資費高。

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我們以硅材料處理車間、電池車間為例。具體來說:硅材料處理車間的酸清洗工藝、酸浸泡工藝、堿腐蝕工藝產生的廢氣；電池車間腐蝕工藝、擴散工藝和印刷工藝產生的廢氣。根據廢氣的類型和性質采用不同的處理方法。因為車間廢氣主要是酸性氣體，所以主要采用堿液噴涂法和吸附法。廢氣處理工藝為電池車間腐蝕，羊絨工藝產生的主要廢氣污染物為NOX和HF氣體；硅處理車間酸浸泡工藝的主要廢氣污染物是NOX。操作規程：工業廢氣處理設備凈化系統調整后，應固定調節閥，操作時不得隨意更換。當系統連接到多個排氣點時，如果某個排氣點的工藝設備停止運行，則不得關閉排氣罩，以免改變其他排氣罩的排放。

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常用的有機廢氣處理方法有光氧催化、低溫等離子、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附、生物藥液降解等，無機廢氣因為要脫硫脫硝工藝較復雜本文不做說明。這些有機廢氣因所處行業、濃度不同適合于不同的處理方法，不能一概而論那種方法好，哪種方法不好，要具體問題具體分析。利用特殊的高能高臭氧催化氧化。UV紫外光束照射廢氣，使有機或無機聚合物分子鏈與臭氧反應，在高能紫外光束照射下產生低分子化合物，例如CO2.H2O等。投資費用低，適用范圍廣，凈化效率高，操作簡單，除臭效果好，設備運行穩定，占地小，運行費用低，隨用隨開，不會造成二次污染。

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例如，酸堿廢氣通常由酸堿廢氣洗滌塔、水平洗滌塔等廢氣處理設備制成，而活性炭吸附塔一般用于有機廢氣處理設備，uv光催化氧化設備等。二.安裝廢氣處理設備的位置空間大小，若設備擺放的空間夠大的話，則可以選擇立式噴淋塔，活性炭塔。若空間有限，則需根據實際情況定制設備尺寸和樣式，如臥式噴淋塔和活性炭箱。三.設備風量：風量是決定廢氣處理設備選型的重要因素之一，如果設備風量不達標，將影響廢氣處理效率。現在比較常見的廢氣處理設備以下：1.催化燃燒設備：處理工業廢氣的一種凈化設備。特點是無火焰燃燒，燃燒溫度低。